光刻机巨头ASML将向中国推出特供版DUV光刻机

7月6日，针对“将向中国推出特供版DUV光刻机”的传言，荷兰光刻机巨头ASML向观察者网回应表示，“一直以来ASML都遵守所适用的法律条例，我们并没有面向中国市场推出特别版的光刻机”。

 

一周前，荷兰政府正式宣布限制某些先进半导体设备出口的新规，这些规定将于9月1日生效。具体而言，荷兰政府将要求先进芯片制造设备的公司在出口之前须获得许可证。尽管荷兰政府并未直接点名会受到限制的公司，但外界都明白这是在针对当地最出名的半导体设备公司ASML。彼时，ASML回应观察者网表示，根据新出口管制条例规定，该公司需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运最先进的浸润式DUV系统（即TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统）。荷兰政府将决定是否授予或拒发出口许可证，并将向ASML提供许可证所附条件的细节。

 

ASML在声明中重点指出，荷兰政府新颁布的出口管制条例只涉及TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统（DUV，深紫外光刻）。而该公司的EUV光刻（极紫外光刻）系统在此前已经受到限制，其他系统的发运暂未受荷兰政府管控。

 

 

ASML受出口管制的光刻机型号

在荷兰政府宣布新的半导体出口管制条例后，中国驻荷兰大使馆6月30日很快做出回应：荷兰政府正式出台半导体制造设备的出口管制措施，这是对出口管制措施的滥用，是对自由贸易和国际经贸规则的严重背离，中方对此坚决反对。“我们呼吁荷方从维护国际经贸规则及中荷经贸合作大局出发，立即纠正错误做法。中方将坚决维护自身合法权益。同时，也愿与荷方一道，本着互利互惠的原则，共同探讨解决方案，共同推动中荷经贸关系健康发展。”中国驻荷兰大使馆发言人表示。

 

ASML方面也早就对出口管制做出过警示。今年2月，在接受欧洲媒体采访时，ASML首席执行官温彼得直言，如果美国及其盟友切断中国（大陆）获得某些半导体和半导体制造技术的渠道，中国将被迫加倍努力开发自主技术。他坦言，虽然出口管制是合法工具，但不应该被滥用，决策者在“摆弄”半导体供应链之前应充分了解它的复杂性。